半导体前道集中真空吸尘系统HS真空清扫设备

半导体前道集中真空吸尘系统HS真空清扫设备主要特点

1.我们选用的高负压涡轮风机，吸力强劲、具有高可靠、低维护及**命的特点，通过UL/CCC/CE认证，其防护等级达到IEC60034-5标准中IP54防护等级的要求。

2.滤筒材质为日本进口基材东丽覆膜滤材， PTFE覆膜处理后对0.3μm以上的粉尘过滤效率达99%以上，这样的过滤精度对PM2.5有很好的去除效果。

3.机器粉尘收集采用压杆式收集桶结构，底部带有脚轮，可以自由移动，粉尘清理更便捷。

4.PLC自动变频控制柜，电控元件选用施耐德品牌，并且具有缺相、热过载和相序保护功能，可有效保证机器的安全运行。

5.多台风机并联设计，实现2台风机互为备用，当一台风机出现故障后，另外一台风机可以自动启动，提高系统的稳定性。

6.主机采用远程启动方式，远程启动按钮带指示灯，方便现场人员的使用。

7.多种吸尘配件供选择，满足机台周围和地面的粉尘清洁。

8.每个吸尘口带有开关阀门，方便后期管道的检修。